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高真空油擴散泵是用來獲得高真空或超真空的主要設備。工作壓力范圍為10-2-10-5Pa，抽氣速率范圍為280～50000L/S，對各種氣體無選擇性，結構簡單，沒有機械運動部件，操作方便，便于維護。廣泛應用于電子、化工、冶金、機械、高科技等領域。